產(chǎn) 品 說 明  
  
SpecEI橢偏儀

SpecEI-2000-VIS橢偏儀用波長功能測(cè)量從基底表面反射的極化光用來確定厚度和折射材料指數(shù)。SpecEl可以用PC機(jī)控制。一鍵測(cè)量折射指數(shù)，吸光率和厚度。

一體化精密系統(tǒng)

SpecEl有完整的光源，一個(gè)光譜儀和兩個(gè)固定到70°的偏光鏡。里面甚至包括一個(gè)32-bit Windows操作系統(tǒng)的PC機(jī)。SpecEl可以探測(cè)一個(gè)圖層薄到0.1nm厚到5μm。另外，它可以提供折射指數(shù)到0.005°

SpecEl軟件和配備文件

在SpecEl軟件里，你可以改裝和保存實(shí)驗(yàn)方法的文件以做一步分析，然后生成一個(gè)配方，你可以選擇配方去做實(shí)驗(yàn)。


屏幕顯示的是SpecEl軟件示范Psi和Delta價(jià)值，你可以用來計(jì)算膜厚度，折射率和吸光率。

規(guī)格

波段范圍
 380-780nm（標(biāo)準(zhǔn)）或者450-900nm（任選的）
 
光學(xué)分辨率
 4.0nm FWHM
 
精確度
 厚度0.1nm；折射率0.005%
 
入射角
 70°
 
薄膜厚度
 1-5000nm單個(gè)透明薄膜
 
斑點(diǎn)尺寸
 2mm×4mm（標(biāo)準(zhǔn)）或者200μm×400μm（任選）
 
取樣時(shí)間
 3-15s（最小）
 
動(dòng)態(tài)測(cè)井
 3s
 
機(jī)械公差（高度）
 +/-1.5mm，角度 +/-1.0°
 
涂層數(shù)
 最大到32層
 
參考資料
 無可用的
 
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