產(chǎn) 品 說 明  
NanoMap-D三維光學表面輪廓儀和三維接觸式表面輪廓儀系統(tǒng)        


你極想知道哪種技術(shù)用于表面形貌接觸或非接觸的輪廓儀。接觸和非接觸兩種技術(shù)存在大約30年了，但是兩種技術(shù)都不能相互取代。它們是互為補充的技術(shù)。我們的下一代先進通用的表面輪廓儀能夠在同一個檢測器上容納三維光學表面輪廓儀和三維掃描接觸輪廓儀。兩個互補的技術(shù)在同一個平臺上打開了容易和可靠地分析任何種類的樣品的窗口。自動容易地開關(guān)兩個頭，而且容易的軟件使這個系統(tǒng)很有效力和通用性。

購買者有一個選擇，現(xiàn)在只選擇一個模塊，將來在模塊平臺上能夠加第二個頭。這個系統(tǒng)是升級的。由研究和生產(chǎn)環(huán)境使用。

 

特征

平臺特征

       ? 客戶精密馬達臺是計算機在5個方向控制的

? 超高分辨率數(shù)字成像傳感器同工業(yè)標準比較，傳遞13倍的數(shù)據(jù)

? 容易使用的兩個關(guān)鍵操作

? 在一個平臺上容納兩種技術(shù)

 

光學輪廓儀頭的特征                                                                           

? 兩百萬像素圖像

? 1皮米的分辨率

? Z軸范圍從nm到10mm

? 超快速(不到一秒鐘產(chǎn)生圖像)

? LED光源壽命超過20年

 

接觸式輪廓儀頭的特征

? 壓力尖掃描

? 產(chǎn)生三維圖像和二維圖像

? Z軸范圍 nm到500微米或0.5mm

? XY軸范圍 nm到150mm(使用針尖和臺面掃描模式)

 

應(yīng)用

? 臺階高度測量

? 表面粗糙測量

? 定量的抓和挖的特征，呈現(xiàn)深度、寬度和體積

? 平面或曲率的測量

? 二維薄膜應(yīng)力測量

? 薄膜厚度

? 表面輪廓- 缺陷、形貌
 
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