太陽能硅片檢測技術(shù)——硅片的金字塔檢測-硅片檢測顯微鏡-明暗場大平臺硅片檢測顯微鏡  光伏產(chǎn)業(yè)（太陽能發(fā)電產(chǎn)業(yè)）在太陽能電池發(fā)展了50年后，終于在2004年跨越了歷史的分

水嶺，正式進(jìn)入了起飛階段。隨著德國政府在2004 年1 月1 日公布再生能源法，將太陽能選為主要的替代能源，以實際措施普及太陽能發(fā)電（政府不但補助民間裝設(shè)太陽能模塊，更保證以一定費率購回電力），太陽能電池產(chǎn)業(yè)正式進(jìn)入了需求的迅猛增長期。http://www.shchfang.com/guipian.htm

隨著多晶硅，硅片，大陽能電池板工藝的不斷發(fā)展與提高，光伏產(chǎn)業(yè)對硅片質(zhì)量的檢測要求也越來越高。由于國外的光學(xué)檢測太貴，對非原材料生產(chǎn)廠家是一筆很大的支出，而又需要對進(jìn)的硅片進(jìn)行檢測，針對這種情況，上海長方光學(xué)儀器廠開發(fā)了針硅片檢測的系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以對太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況，及硅片的缺陷分析. (例如:上海長方生產(chǎn)的硅片檢測顯微鏡:CGM-600E)

例如: 硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等 還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測儀器之一。CGM-600E大平臺明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有暗場物鏡，使觀察硅片時圖像更加清晰，是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況，及硅片的缺陷分析的理想儀器.

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