凈化工程的控制
潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。 濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產最佳溫度范圍為35—45%。潔凈室中的氣壓規(guī)定 對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則: 1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。 壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈室中的氣流速度規(guī)定
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。 對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求; (1)送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。潔凈密閉燈 潔凈密閉燈分為普通型和應急型兩種。通常采用雙管形式。其中應急型在正常情況下也可以當普通型使用,在廠房突然斷電的情況下,其可保持繼續(xù)照明,并且不需要單獨供電系統(tǒng)。在用材上,潔凈密閉等有不銹鋼和烤漆型兩種,面罩有透明和不透明之分。凈化工程是由以下內容組成的通風柱井通風拄井是通過由彩鋼板安裝而形成的通風管道。一般設置于潔凈去內,其上可安裝通風口,通過設計使?jié)崈魠^(qū)內氣流布置合理,經常別回風系統(tǒng)和排風系統(tǒng)采用。結構形式上有三角行柱和方形柱兩種。地面處理通過使用優(yōu)質的地面材料,在原地面上形成一個具有平整,密實,耐化學腐蝕,色彩鮮艷,無毒性,易于清理的面層,并且具有優(yōu)良的物理性能,包括很高的附著力,抗壓強度,抗彎強度,以及很好的抗沖擊耐磨能力。主要適用于有潔凈等級的地面。結構包柱結構包柱適用于潔凈區(qū)內有水泥結構柱或鋼結構柱的情況,經彩鋼板安裝處理后,使車間即美觀漂亮,又符合GMP要求。配電箱(柜)潔凈區(qū)內的配電箱(柜)根據(jù)要求不同,可采用明裝或暗裝方式安裝。其暗裝結構形式類似于通風柱井或結構包柱。我公司是一家專業(yè)從事凈化工程裝修的廠家,公司技術力量雄厚,施工經驗豐富,是值得你托付的凈化工程裝修公司。