產(chǎn)品說明:
產(chǎn)品名稱:工具鍍專用鍍膜機
產(chǎn)品描述: 最新研制開發(fā)的一種物理氣相沉積(PVD)真空鍍膜設(shè)備,可同時安裝兩至四種不同純金屬或合金靶材,進行單層或多層(納米)膜的鍍制。適用于各類工具鍍鍍膜要求,如切削工具,鉆頭、沖摸具等。通過對工件表面在物理、化學(xué)、機械、顏色等方面的改質(zhì),達到耐磨、超硬、自潤滑的效果。
產(chǎn)品詳情說明:
主要特點:
1、采用反應(yīng)氣體等離子源輔助沉積,對工件進行預(yù)清洗及鍍膜時的輔助沉積;
2、采用大功率的脈沖偏壓電源,使工件與膜層獲得更好的結(jié)合力;
3、采用多套孿生靶及弧,可同時安裝2—4種不同純金屬或合金靶材,獲得復(fù)合納米鍍層;
4、工件架采用公、自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),承重能力強及耐高溫,并可移動出腔體,方便裝卸比較重的模具。
5、觸摸屏+PLC,可實現(xiàn)全自動控制,自動/手動隨時切換;
基本配置:
1、真空室立式單開門結(jié)構(gòu),304不銹鋼制造,真空室內(nèi)直徑自Φ1000mm-Φ1300mm;
2、真空系統(tǒng)由旋片泵、羅茨泵和擴散泵或分子泵構(gòu)成;
3、鍍膜系統(tǒng)采用1-2臺中頻磁控濺射電源,配有1-2對非平衡磁控靶,并配有6-14個熱陰極電弧;
4、大功率脈沖偏壓電源;
5、充氣系統(tǒng)采用國產(chǎn)或進口氣體質(zhì)量流量計、氣體流量控制(顯示)儀;
6、電控系統(tǒng)設(shè)置電路過載、斷水、斷氣聲光報警裝置;
7、控制系統(tǒng)(觸摸屏+PLC),實時顯示詳細參數(shù),全自動控制整個生產(chǎn)過程,并自動存儲工藝參數(shù)。
技術(shù)參數(shù):
總重量 2500kg~4000kg
名義功率 150KW~200KW
抽速(空載) 8×10-3Pa≤20min
極限真空(空載) ≤8×10-4Pa
壓升率(空載) 0.67Pa/小時
工件轉(zhuǎn)速 0~5r/min
烘烤溫度 室溫~500度
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