使用適當型號的干式真空泵解決了原有機械機械真空泵無法解決的兩大問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設備的維護成本。
二是由于某些工藝過程中的反應物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作。我公司產(chǎn)品型號齊全，大致可分為：
1、雙圓裂片式。其設計和目前最流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些最早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
2、內(nèi)部壓縮型螺桿式。除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學變化而產(chǎn)生固化或液化。
3、組合式(羅茨+爪)。設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
4、三葉圓裂片式。此種干式真空泵設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
5、外部壓縮型螺桿式。使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣，氣體在干式真空泵體內(nèi)停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。
隨著干式真空泵應用領域的擴大，類型合適才能滿足應用需求，起到不同的作用，希望您能選到自己滿意的產(chǎn)品。干式真空泵更多的信息，如價格、參數(shù)等可通過網(wǎng)站danruizk繼續(xù)了解。
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