主要有SiH4減壓閥、CL2減壓閥,HCL減壓閥,BCL3減壓閥,SiH2Cl2減壓閥、PH3減壓閥、B2H6減壓閥、H2減壓閥、CO減壓閥、NF3減壓閥、SF6減壓閥、C2F6減壓閥、WF6減壓閥、NH3減壓閥、N2O減壓閥,N2減壓閥,AR減壓閥,O2減壓閥 等。
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